软X射线探测器的软X射线可直接照射探测器，无需闪烁晶体做转换，
按可检测X射线能量范围不同及应用的需要，分为AXUV,UVG和SXUV三大产品系列，Z低可检测0.04nm的软X射线，拥有快速响应的探测器，响应速度达到ps量级，多元阵列，积分放大电路，并可根据需要集成带通滤光片，四象限位置传感器（Quadrant PSD）

美国IRD公司,成立于1991年，专业生产用于UV,XUV,EUV和软X射线检测的硅材料探测器，是世界的射线探测器生产厂商。IRD公司为众多研究机构提供探测器，其生产的5mm-250mm硅光电管通过了美国NIST认证，被为*合格供应商。

 软X射线探测器

IRD探测器的特点如下：

• 软X射线可直接照射探测器，无需闪烁晶体做转换
• 按可检测X射线能量范围不同及应用的需要，分为AXUV,UVG和SXUV三大产品系列，zui低可检测0.04nm的软X射线
• 快速响应的探测器，响应速度达到ps量级
• 多元阵列，积分放大电路，并可根据需要集成带通滤光片
• 四象限位置传感器（Quadrant PSD）

AXUV系列                                                                      

AXUV系列适用于真空紫外、紫外和，由于不同于常见的pn结二管，这些二管没有掺杂死区，加之零表面复合处理，可以在紫外/紫外范围内，达到理想化的100%内部量子效率转化。 

IRD还提供与Cr,W,Au,Fe,Al等滤光片耦合的探测器，可以达到探测波长的效果。

SXUV系列                                                                       

   由于在硅PN结光电二管前耦合铂硅化物入射窗，使得探测器可以探测超紫外光子（能量范围4ev—12KeV）。该系列二管由超大规模集成电路制造而成。

IRD还提供与Zr，Si3N4,Si,SiC,Mo,Al滤光片耦合的探测器，可以达到探测波长的效果。 

当脉冲能量超过20mJ,IRD还开发了带衰减器的探测器，以减少UV/EUV脉冲射线对探测器的冲击。

UVG系列                                                                      

UVG系列PN结光电探测器可以实现100%的光生载流子收集效率，所以被使用在近紫外和真空紫外（600--160nm）。与传统的二管不同的是，这些二管没有掺杂死区，加之零表面复合处理，可以在紫外/紫外范围内，达到理想化的100%内部量子效率转化